| 是否进口：否 | 加工定制：否 | 品牌：Bruker |
| 型号：DektakXT | 测量范围：6寸晶圆 | 测量精度：<5? |
| 分辨率：0.1nm | 电源电压：220v | 用途：台阶仪薄膜厚度测试 |
根据使用传感器的不同，接触式台阶测量可以分为电感式、压电式和光电式3种。
特征：
u 台阶高度重复性优于5埃（<5 ?）
l 单拱龙门式设计实现了突破性的扫描稳定性
l ***的“智能化电子器件”实现了低噪声的***
u 操作简便，高效易用
l 直观化的Vision64TM软件简化了用户界面的操作过程
l 独特的传感器设计使得在单一平台上即可实现超微力和较大的力测量
l 自对准的探针设计使用户可以***地更换探针
参数：
测试技术 | 探针式表面轮廓测量技术（接触模式） |
测量范围 | 二维表面轮廓测量 可选择三维测量以及数据分析 |
样品观测 | 可选择放大倍数，视场（FOV）范围：1~4mm |
探针传感器 | 低惯性量传感器 （LIS 3） |
探针作用力 | LIS 3 传感器中 1~15mg |
低作用力模式 | N-Lite+ 低作用力 0.03~15mg |
探针选项 | 探针曲率半径 50nm~25um 高径比针尖（HAR）10um×2um 和200um×20um ；也可以采用客户定制针尖 |
样品 X/Y 载物台 | 手动 X/Y（4英寸）：100mm*100mm，可手动校平 自动 X/Y（6英寸）：150mm*150mm，可手动校平 |
样品 R/? 载物台 | 手动，360度连续旋转 自动，360度连续旋转 |
计算机系统 | 64位多核并行处理器，Windows? 7 系统；可选配23英寸平板显示器 |
软件 | Version 64 操作分析软件，应力测量软件，悬臂偏转测试软件； 选配：缝合软件；3D应力分析软件；3D测量软件 |
隔振系统 | 多种隔振方案可供选择。 |
扫描长度范围 | 55mm （~2英寸） |
单次扫描数据采集点 | 120，000 |
样品厚度 | 50mm (2英寸) |
晶片尺寸 | 200mm (8英寸) |
台阶高度重复性 | <5?, 1sigma on 0.1μm step |
垂直方向扫描范围 | 1mm (0.039英寸.) |
垂直方向分辨率 | 分辨率可达 1? (在6.55um测量范围内 |
输入功率 | 100 – 240 VAC, 50 – 60Hz |
温度范围 | 可以操作温度为 20 ~ 25°C (68 ~ 77°F) |
湿度范围 | ≦80%，无凝结 |
系统尺寸和重量 | 455mm W x 550mm D x 370mm H (17.9in. W x 22.6in. D x 14.5in. H); 34kg (75lbs.); 隔离罩：550mm L x 585mm W x 445mm H (21.6in. L x 23in. W x 17.5in. H); 5.0kg (11lbs.) |
